Evaluation of TiN/Cu Gate Metal Scheme for AlGaN/GaN High-Electron-Mobility Transistor Application
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- Yueh-Chin LinChih-Hsiang ChangFang-Ming Li 他
- タイトル（掲載誌）
- Applied physics express : APEX
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 6(9):2013.9
- 掲載巻
- 6
- 掲載号
- 9
- 掲載ページ
- 091003-1-3
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2013-09