表面再構成構造を利用したSiへの希土類元素の高濃度ドーピング (材料のスマート制御による物性・機能性の開拓)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 宮田 祐輔奥山 祥孝藤村 紀文
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- High-concentration Rare Earth Ion Doping to Si Using Reconstructed Surface Structure
- タイトル（掲載誌）
- スマートプロセス学会誌 = Journal of smart processing
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 2(5):2013.9
- 掲載巻
- 2
- 掲載号
- 5