X-Z駆動機構を用いたインチワーム式ピエゾステージの基礎的研究

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X-Z駆動機構を用いたインチワーム式ピエゾステージの基礎的研究

国立国会図書館請求記号
Z14-467
国立国会図書館書誌ID
024950793
資料種別
記事
著者
堤 博貴ほか
出版者
八王子 : 東京工業高等専門学校
出版年
2013-09
資料形態
掲載誌名
東京工業高等専門学校研究報告書 = Research reports of Tokyo National College of Technology / 東京工業高等専門学校図書委員会 編 (45)(1):2013.9
掲載ページ
p.9-13
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
堤 博貴
村井 優
山崎 瑛也
並列タイトル等
Basic Study of the Inch Worm Type Piezoelectric Stage with X-Z Positioning Mechanisms
タイトル(掲載誌)
東京工業高等専門学校研究報告書 = Research reports of Tokyo National College of Technology / 東京工業高等専門学校図書委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
(45)(1):2013.9
掲載号
45
掲載通号
1
掲載ページ
9-13