超高純度Cu陽極の含リン化が8インチウエハへの超高純度めっきプロセスにおける異物汚染および形成したCu配線の抵抗率に及ぼす影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 田代 優門田 裕行伊藤 雅彦 他
- 並列タイトル等
- The Influence of Phosphorus Impregnated Ultra-High Purity Cu Anode on the Particle Pollution and Cu Wiring Resistivity in Processing of 8 Inch Wafers
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 77(11):2013.11
- 掲載巻
- 77
- 掲載号
- 11
- 掲載ページ
- 503-508