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供給空気の超精密・高...

供給空気の超精密・高速制御技術を用いた静圧空気軸受エアタービンスピンドルの制御

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供給空気の超精密・高速制御技術を用いた静圧空気軸受エアタービンスピンドルの制御

国立国会図書館請求記号
Z16-1433
国立国会図書館書誌ID
025072313
資料種別
記事
著者
加藤 友規
出版者
福岡 : 福岡工業大学総合研究機構エレクトロニクス研究所
出版年
2013-10
資料形態
掲載誌名
福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報 = Reports of the Electronics Research Laboratory, Fukuoka Institute of Technology 30:2013.10
掲載ページ
p.13-19
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
加藤 友規
著者標目
並列タイトル等
Control of aerostatic bearing type air turbine spindle using ultra-precision and high-speed supply pressure control technique
タイトル(掲載誌)
福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報 = Reports of the Electronics Research Laboratory, Fukuoka Institute of Technology
巻号年月日等(掲載誌)
30:2013.10
掲載巻
30
掲載ページ
13-19
掲載年月日(W3CDTF)
2013-10