水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法

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水平駆動型MEMS導波路の静電駆動時における高周波特性の評価手法

国立国会図書館請求記号
Z16-607
国立国会図書館書誌ID
025125280
資料種別
記事
著者
山根 大輔ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会エレクトロニクスソサイエティ
出版年
2014-01
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編 97(1)=553:2014.1
掲載ページ
p.37-45
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
山根 大輔
サン ウィンストン
川崎 繁男 他
並列タイトル等
A Methodology for RF Performance Evaluation on Laterally-movable RF-MEMS Waveguides in Electrostatic Operation
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会論文誌. C, エレクトロニクス = The IEICE transactions on electronics. C / 電子情報通信学会 編
巻号年月日等(掲載誌)
97(1)=553:2014.1
掲載巻
97
掲載号
1
掲載通号
553