シリコン基板上のアルミニウム薄膜における反射光を用いた到達温度の測定
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 三橋 雅彦田口 勇小田代 健 他
- 並列タイトル等
- Temperature Measurement by Reflected Light from Aluminum Thin Films on Silicon Substrates
- タイトル（掲載誌）
- 研究報告 Reports of Kanagawa Industrial Technology Center / 神奈川県産業技術センター [編]
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (19):2013
- 掲載号
- 19
- 掲載ページ
- 13-17
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2013