スパッタ法により作製した酸化インジウム酸化亜鉛膜の周期的層状構造
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 越後谷 淳一瀬川 章夫山崎 詩帆 他
- 並列タイトル等
- Layered Structure of Sputter Deposited Indium Zinc Oxide Films
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 78(2):2014.2
- 掲載巻
- 78
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 82-89