ポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発とその応用 : 研磨レートに及ぼすパッド表面性状の影響に関する多面的検討

• 資料種別: 記事
• タイトル: ポリシングパッド表面性状の定量評価手法の開発とその応用 : 研磨レートに及ぼすパッド表面性状の影響に関する多面的検討
• 著者・編者: 畝田 道雄; 前田 有樹; 澁谷 和孝 他
• 著者標目: 畝田 道雄; 前田 有樹; 澁谷 和孝
• 並列タイトル等: Development of Evaluation System of Polishing Pad Surface Asperity and Its Application : Effect of Pad Surface Asperity on Removal Rate
• タイトル（掲載誌）: 砥粒加工学会学術講演会講演論文集 ABTEC / 砥粒加工学会学術講演会(ABTEC)実行委員会 編
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2012
• 掲載ページ: 5-9
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2012
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 砥粒加工学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: Polishing; pad surface asperity; contact image analysis; removal rate
• NDLC: ZN11
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: YH247-1244
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025192686; http://id.ndl.go.jp/bib/025192686
• 整理区分コード: 632