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ガスクラスターイオン...

ガスクラスターイオンビーム角度照射による金ミラー表面の平坦化と光反射特性改善

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ガスクラスターイオンビーム角度照射による金ミラー表面の平坦化と光反射特性改善

国立国会図書館請求記号
YH247-109
国立国会図書館書誌ID
025285457
資料種別
記事
著者
鈴木 晃子ほか
出版者
東京 : 日本航空電子工業
出版年
2007-03
資料形態
記録メディア
掲載誌名
航空電子技報 JAE technical report (30) 2007.3
掲載ページ
p.18-27
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記録メディア

資料種別
記事
著者・編者
鈴木 晃子
ブーレル エマニュエル
佐藤 明伸
並列タイトル等
Flattening and Improvement in Optical Reflection Property of Gold Mirror Surface by Gas Cluster Ion Beam Angled Irradiation
タイトル(掲載誌)
航空電子技報 JAE technical report
巻号年月日等(掲載誌)
(30) 2007.3
掲載号
30
掲載ページ
18-27
掲載年月日(W3CDTF)
2007-03