磁気トンネル接合の成膜技術の進展 (小特集 スパッタリングをめぐる技術(3))
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 恒川 孝二
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Progress in Deposition Technology of Magnetic Tunnel Junctions
- タイトル（掲載誌）
- Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 57(3):2014.3
- 掲載巻
- 57
- 掲載号
- 3