原子層エレクトロニクスに向けたカルコゲナイド系層状物質の基礎物性と薄膜形成手法 (放射線イメージング/新半導体デバイス材料・応用/軟X線)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 上野 啓司塚越 一仁
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Basic properties and thin film preparation methods of layered chalcogenide materials for atomic-layer electronics
- タイトル（掲載誌）
- 応用物理
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 83(4):2014.4
- 掲載巻
- 83
- 掲載号
- 4