半導体ウェハ搬送ロボットへのPreshaping制御の応用と実験検証

掲載誌名: 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers 50(4):2014.4

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資料種別: 記事
タイトル: 半導体ウェハ搬送ロボットへのPreshaping制御の応用と実験検証
著者・編者: 山下貴仁
Wisnu ARIBWO
内山直樹他
著者標目: 山下貴仁
Wisnu ARIBWO
内山直樹
並列タイトル等: Application of Preshaping Control to a Semiconductor Wafer Transfer Robot and Experimental Verification
タイトル（掲載誌）: 計測自動制御学会論文集 = Transactions of the Society of Instrument and Control Engineers
巻号年月日等（掲載誌）: 50(4):2014.4
掲載巻: 50
掲載号: 4
掲載ページ: 328-334
掲載年月日（W3CDTF）: 2014-04
ISSN（掲載誌）: 0453-4654
ISSN-L（掲載誌）: 0453-4654
出版事項（掲載誌）: 東京 : 計測自動制御学会 ; [1965]-
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: semiconductor wafer transfer robot
vibration suppression
trajectory control
NDLC: ZM11
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-482
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 025466644
http://id.ndl.go.jp/bib/025466644
整理区分コード: 632