ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究(第3報)FIBにより先鋭化した加工用AFMカンチレバーを用いた微細V溝加工

• 資料種別: 記事
• タイトル: ダイヤモンドアレイ工具を用いたマイクロ加工に関する研究(第3報)FIBにより先鋭化した加工用AFMカンチレバーを用いた微細V溝加工
• 著者・編者: 高野 登; 清水 大志; 山田 茂 他
• 著者標目: 高野 登; 清水 大志; 山田 茂
• 並列タイトル等: Study on micromachining using diamond array tool(3rd report)Machining of micro V-groove using sharpened cutting edge of AFM cantilever by FIB
• タイトル（掲載誌）: Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
• 巻号年月日等（掲載誌）: 58(7)=383:2014.7
• 掲載巻: 58
• 掲載号: 7
• 掲載通号: 383
• 掲載ページ: 446-450
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2014-07
• ISSN（掲載誌）: 0914-2703
• ISSN-L（掲載誌）: 0914-2703
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 砥粒加工学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: V-groove; micromachining; AFM cantilever; FIB; sharpened cutting edge
• NDLC: ZN11
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-1147
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 025577449; http://id.ndl.go.jp/bib/025577449
• 整理区分コード: 632