触媒反応生成高エネルギーH₂Oを用いてサファイア基板上に堆積した窒素ドープZnO薄膜の成長 (機構デバイス 材料デバイスサマーミーティング)

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触媒反応生成高エネルギーH₂Oを用いてサファイア基板上に堆積した窒素ドープZnO薄膜の成長

(機構デバイス 材料デバイスサマーミーティング)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
025590559
資料種別
記事
著者
大橋 優樹ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2014-06-20
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 114(94):2014.6.20
掲載ページ
p.49-53
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
大橋 優樹
叶内 慎吾
山口 直也 他
並列タイトル等
Epitaxial growth of nitrogen-doped ZnO thin films on a-plane sapphire substrates using high-energy H₂O generated by a catalytic reaction
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
114(94):2014.6.20
掲載巻
114
掲載号
94