Cr-Nひずみゲージ薄膜を用いた荷重ベクトルセンサとその応用 (特集 第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム受賞論文特集)
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 丹羽 英二白川 究新行内 成晃 他
- 並列タイトル等
- Load Vector Sensors using Strain Sensitive Cr-N Thin Films and Their Application
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 134(6):2014.6
- 掲載巻
- 134
- 掲載号
- 6