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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 加藤 友規益田 大海
- 並列タイトル等
- Development of a hybrid electric-pneumatic ultra-precision vertical positioning device and investigation of pressure fluctuation in the balancing cylinder
- タイトル（掲載誌）
- 福岡工業大学エレクトロニクス研究所所報 = Reports of the Electronics Research Laboratory, Fukuoka Institute of Technology
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 31:2014.10
- 掲載巻
- 31
- 掲載ページ
- 19-23
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2014-10