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原子層堆積法を用いて製膜した極薄絶縁層を用いた有機電界効果トランジスタ (小特集 真空プロセスで創る有機デバイス研究・開発の最前線)

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原子層堆積法を用いて製膜した極薄絶縁層を用いた有機電界効果トランジスタ(小特集 真空プロセスで創る有機デバイス研究・開発の最前線)

国立国会図書館請求記号
Z16-474
国立国会図書館書誌ID
026236427
資料種別
記事
著者
小野 新平
出版者
東京 : 日本真空協会
出版年
2015-03
資料形態
掲載誌名
Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空 58(3):2015.3
掲載ページ
p.104-108
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デジタル

資料種別
記事
著者・編者
小野 新平
著者標目
並列タイトル等
High Performance Organic Field-Effect Transistors with High-k Insulator Deposited Directly onto the Organic Semiconductor
タイトル(掲載誌)
Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
巻号年月日等(掲載誌)
58(3):2015.3
掲載巻
58
掲載号
3