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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中谷 達行國次 真輔
- 並列タイトル等
- A Methane Gas Flow Ratio-dependent Transition of Hydrogen-containing Tetrahedral Amorphous Carbon Films in Cathodic Vacuum Arc Plasma
- タイトル（掲載誌）
- 岡山理科大学技術科学研究所年報 = The bulletin of the Research Institute of Technology / 岡山理科大学技術科学研究所 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- (33):2015
- 掲載号
- 33
- 掲載ページ
- 1-5
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2015