高面精度共振型焦点可変ミラー (特集 平成26年度「センサ・マイクロマシン部門総合研究会」)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- タイトル
- 著者・編者
- 中澤 謙太佐々木 敬羽根 一博
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- High Surface Accuracy Resonant Varifocal Mirror
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 135(5):2015.5
- 掲載巻
- 135
- 掲載号
- 5