3D/2.5D-IC TSVに向けた低温成膜SiNxの特性評価 (特集 平成26年電子・情報・システム部門大会)
デジタルデータあり（Japan Link Center）
すぐに読む
CiNii Research
全国の図書館の所蔵
国立国会図書館以外の全国の図書館の所蔵状況を表示します。
所蔵のある図書館から取寄せることが可能かなど、資料の利用方法は、ご自身が利用されるお近くの図書館へご相談ください
書誌情報
この資料の詳細や典拠（同じ主題の資料を指すキーワード、著者名）等を確認できます。
- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小林 靖志中田 義弘中村 友二 他
- シリーズタイトル
- 並列タイトル等
- Characterization of Low Temperature SiNx Films for 3D/2.5D-IC TSV
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. C, 電子・情報・システム部門誌 = IEEJ transactions on electronics, information and systems
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 135(7):2015.7
- 掲載巻
- 135
- 掲載号
- 7