シリコン単結晶の室温...

シリコン単結晶の室温における静的曲げ及び疲労

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シリコン単結晶の室温における静的曲げ及び疲労

国立国会図書館請求記号
Z74-B826
国立国会図書館書誌ID
026776103
資料種別
記事
著者
高木 誠ほか
出版者
豊田 : 愛知工業大学総合技術研究所
出版年
2015-09
資料形態
掲載誌名
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編 (17):2015.9
掲載ページ
p.77-81
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
高木 誠
松室 昭仁
岩田 博之 他
並列タイトル等
Bending and fatigue of silicon single crystal at room temperature
タイトル(掲載誌)
愛知工業大学総合技術研究所研究報告 / 研究報告編集委員会 編
巻号年月日等(掲載誌)
(17):2015.9
掲載号
17
掲載ページ
77-81
掲載年月日(W3CDTF)
2015-09