Development of Fine pitch Negative Tone Resist for Electro-Plating

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Development of Fine pitch Negative Tone Resist for Electro-Plating

国立国会図書館請求記号
Z17-926
国立国会図書館書誌ID
026857447
資料種別
記事
著者
秋丸 尚徳ほか
出版者
東京 : JSR広報部
出版年
2015-03
資料形態
掲載誌名
JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編 (122):2015.3
掲載ページ
p.8-12
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
秋丸 尚徳
石川 英史
榊原 宏和 他
並列タイトル等
微細配線形成向け電解めっき用ネガ型レジストの開発 ビサイ ハイセン ケイセイ ムケ デンカイメッキ ヨウ ネガガタ レジスト ノ カイハツ
タイトル(掲載誌)
JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部 編
巻号年月日等(掲載誌)
(122):2015.3
掲載号
122
掲載ページ
8-12
掲載年月日(W3CDTF)
2015-03