ドライ転写技術によるナノキャビティ上へのCVD単層グラフェンダイアフラムの製作

• 資料種別: 記事
• タイトル: ドライ転写技術によるナノキャビティ上へのCVD単層グラフェンダイアフラムの製作
• 著者・編者: 石田 隼斗; 石田 誠; 澤田 和明; 高橋 一浩
• シリーズタイトル: 電子デバイス
• 著者標目: 石田 隼斗; 石田 誠; 澤田 和明; 高橋 一浩
• 並列タイトル等: Fabrication of CVD single-layer graphene diaphragm above a nano cavity by dry transfer technique
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 116(48):2016.5.19・20
• 掲載巻: 116
• 掲載号: 48
• 掲載ページ: 1-4
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2016-05
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: NEMS; MEMS; グラフェン; ドライ転写; graphene; dry transfer
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ED2016-13
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027374252; http://id.ndl.go.jp/bib/027374252
• 整理区分コード: 632