P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサの感度改善(特集平成27年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会)

掲載誌名: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines 136(5):2016.5

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資料種別: 記事
タイトル: P(VDF/TrFE)薄膜を用いたMEMS超音波センサの感度改善
著者・編者: 田中恒久
村上修一
宇野真由美
山下馨
シリーズタイトル: 特集平成27年度センサ・マイクロマシン部門総合研究会
著者標目: 田中恒久
村上修一
宇野真由美
山下馨
並列タイトル等: Improvement of Sensitivity of MEMS Ultrasonic Sensor Using P(VDF/TrFE) Thin Films
タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
巻号年月日等（掲載誌）: 136(5):2016.5
掲載巻: 136
掲載号: 5
掲載ページ: 134-141
掲載年月日（W3CDTF）: 2016-05
ISSN（掲載誌）: 1341-8939
ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
件名標目: 超音波センサ
MEMS
P(VDF/TrFE)
ダイアフラム
薄膜
樹脂
Ultrasonic Sensor
Diagram
Thin Film
Polymer
NDLC: ZN31
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z16-B380
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 027423666
http://id.ndl.go.jp/bib/027423666
整理区分コード: 632