低吸水性パッシベーション層を適用したアモルファスIGZO薄膜トランジスターの信頼性について

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資料種別: 記事
タイトル: 低吸水性パッシベーション層を適用したアモルファスIGZO薄膜トランジスターの信頼性について
著者・編者: 石川暁
宮迫毅明
勝井宏充
田中圭
濱田謙一
クルカイジットチャイヤナン
藤井茉美
石河泰明
浦岡行治
著者標目: 石川暁
宮迫毅明
勝井宏充
田中圭
濱田謙一
クルカイジットチャイヤナン
藤井茉美
石河泰明
浦岡行治
並列タイトル等: Reliability of Amorphous IGZO Thin Film Transistor with Low Water-Absorbency Passivation Layer
タイトル（掲載誌）: JSRテクニカルレビュー = JSR technical review / JSR株式会社研究開発部編
巻号年月日等（掲載誌）: (123):2016.3
掲載号: 123
掲載ページ: 9-14
掲載年月日（W3CDTF）: 2016-03
ISSN（掲載誌）: 0916-7129
ISSN-L（掲載誌）: 0916-7129
出版事項（掲載誌）: 東京 : JSR広報部
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZP17
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z17-926
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 027429306
http://id.ndl.go.jp/bib/027429306
整理区分コード: 632