反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ

• 資料種別: 記事
• タイトル: 反応性イオンエッチングで形成した高密度ナノチャネルをもつオンチップマイクロクヌーセンポンプ
• 著者・編者: 諏訪 亘; 猪股 直生; 小野 崇人
• シリーズタイトル: マイクロマシン・センサシステム研究会 マイクロマシン・センサシステムとそのプロセス技術および一般
• 著者標目: 諏訪 亘; 猪股 直生; 小野 崇人
• 並列タイトル等: On-Chip micro Knudsen pump having the dense nanochannels formed by Reactive Ion Etching
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. MSS
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2016(9・10・12-17):2016.6.29・30
• 掲載巻: 2016
• 掲載号: 9・10・12-17
• 掲載ページ: 11-13
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2016-06
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: マイクロポンプ; クヌーセンポンプ; ナノチャネル; 反応性イオンエッチング; micro pump; Knudsen pump; nanochannels; reactive ion etching
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: MSS-16-13
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-C94
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027547135; http://id.ndl.go.jp/bib/027547135
• 整理区分コード: 632