金属酸化物機能性材料...

金属酸化物機能性材料薄膜合成のための超省エネルギーCVD技術 (特集 製造技術・物づくり技術の実用化)

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金属酸化物機能性材料薄膜合成のための超省エネルギーCVD技術

(特集 製造技術・物づくり技術の実用化)

国立国会図書館請求記号
Z17-82
国立国会図書館書誌ID
027568649
資料種別
記事
著者
安井 寛治
出版者
川崎 : 化学工業社
出版年
2016-08
資料形態
掲載誌名
ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering 61(8)=739:2016.8
掲載ページ
p.553-559
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資料種別
記事
著者・編者
安井 寛治
著者標目
タイトル(掲載誌)
ケミカルエンジニヤリング = Chemical engineering
巻号年月日等(掲載誌)
61(8)=739:2016.8
掲載巻
61
掲載号
8
掲載通号
739