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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 畝田 道雄松永 敬弘高橋 佳宏澁谷 和孝中村 由夫市川 大造石川 憲一
- 並列タイトル等
- Relationship between polishing pad surface temperature and removal rate in sapphire-chemical mechanical polishing
- タイトル(掲載誌)
- Abrasive technology : 砥粒加工学会誌 : journal of the Japan Society for Abrasive Technology
- 巻号年月日等(掲載誌)
- 60(8)=408:2016.8
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 8
- 掲載通号
- 408