リフトオフ形成Pt電極による低コストPZT焦電センサの作製法
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 水嵜 英明飯田 祐介米久保 荘佐藤 敏郎曽根原 誠
- 並列タイトル等
- Fabrication Techniques of Low-cost PZT Pyroelectric Sensor Adopt the Lift-off Patterned Pt Electrode
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 136(8):2016.8
- 掲載巻
- 136
- 掲載号
- 8
- 掲載ページ
- 337-342