1対の支持梁による3次元駆動MEMSスキャナの形状設計
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 小口 陽平飯野 知紗岩瀬 英治
- 並列タイトル等
- The Design of MEMS Scanner for the Three Dimensional Actuation with a Pair of Beams
- タイトル（掲載誌）
- 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 136(10):2016.10
- 掲載巻
- 136
- 掲載号
- 10
- 掲載ページ
- 448-453