軸外し傾斜基板を用いたAl添加ZnOのRFマグネトロンスパッタ成膜

• 資料種別: 記事
• タイトル: 軸外し傾斜基板を用いたAl添加ZnOのRFマグネトロンスパッタ成膜
• 著者・編者: 坂本 康平; 佐藤 貴紀; 小山田 俊介; 松尾 直樹; 篠原 正典; 松田 良信
• シリーズタイトル: プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 放電,プラズマ,パルスパワー
• 著者標目: 坂本 康平; 佐藤 貴紀; 小山田 俊介; 松尾 直樹; 篠原 正典; 松田 良信
• 並列タイトル等: RF magnetron sputtering of the Al-doped ZnO with off-axis inclined substrate
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2016(55-68):2016.10.20
• 掲載巻: 2016
• 掲載号: 55-68
• 掲載ページ: 13-17
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2016-10-20
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 透明導電膜; Al添加ZnO; RFマグネトロンスパッタリング; 軸外し成膜; 低効率; ホール効果測定; transparent conductive film; Al-doped ZnO; RF magnetron sputtering; Off-axis deposition; resistivity; Hall effect measurement
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: PPT-16-58
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-C90
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027739550; http://id.ndl.go.jp/bib/027739550
• 整理区分コード: 632