対向円筒型ターゲットを用いたRF磁化放電スパッタによるAZO透明導電薄膜合成

• 資料種別: 記事
• タイトル: 対向円筒型ターゲットを用いたRF磁化放電スパッタによるAZO透明導電薄膜合成
• 著者・編者: 住山 貴史; 福元 喬也; 大津 康徳; 田原 竜夫; 本村 大成
• シリーズタイトル: プラズマ パルスパワー 放電合同研究会・放電,プラズマ,パルスパワー
• 著者標目: 住山 貴史; 福元 喬也; 大津 康徳; 田原 竜夫; 本村 大成
• 並列タイトル等: AZO transparent conductive thin film synthesis by RF magnetized discharge sputtering using facing cylindrical targets
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. PST / プラズマ研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2016(75-88):2016.10.20
• 掲載巻: 2016
• 掲載号: 75-88
• 掲載ページ: 9-12
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2016-10-20
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 透明導電膜; スパッタリング; リング状ホロー電極; 対向円筒型マグネトロンスパッタ; Transparent Conductive Films; Sputtering; Ring-shaped hollow electrode; Facing cylindrical targets magnetron sputtering
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: PST-16-77
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z43-229
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027739966; http://id.ndl.go.jp/bib/027739966
• 整理区分コード: 632