イオンプレーティング法の成膜時における過剰エネルギーに及ぼす熱電子放射フィラメントの影響
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 酒井 彰崇ニヨムワイタヤ チョンラウイット山本 麟太郎篠岡 樹松村 義人
- 並列タイトル等
- Effects on Hot Electron Emitter for Excess Energy of Thin Films Formation by Ion Plating Process
- タイトル（掲載誌）
- 日本金属学会誌 = The journal of the Japan Institute of Metals and Materials
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 80(12):2016.12
- 掲載巻
- 80
- 掲載号
- 12
- 掲載ページ
- 759-763