カットプロセスを前提としたSelf-Aligned Double Patterningのための2色グリッドに準じた配線手法

• 資料種別: 記事
• タイトル: カットプロセスを前提としたSelf-Aligned Double Patterningのための2色グリッドに準じた配線手法
• 著者・編者: 三浦 発彦; 長谷川 充; 藤吉 邦洋
• シリーズタイトル: VLSI設計技術 ; デザインガイア2016 : VLSI設計の新しい大地
• 著者標目: 三浦 発彦; 長谷川 充; 藤吉 邦洋
• 並列タイトル等: SADP-Cut Aware Two-color Grid Routing
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 116(330):2016.11.28-30
• 掲載巻: 116
• 掲載号: 330
• 掲載ページ: 85-90
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2016-11
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: ダブルパターニング; SADP; カットプロセス; SADP-Cut; グリッド配線; Double Patterning; Cut Process; Grid Routing
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: VLD2016-58
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027790980; http://id.ndl.go.jp/bib/027790980
• 整理区分コード: 632