ガスバリア膜用新規PECVD材料TG-41の開発
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 千葉 洋一岩永 宏平徳久 賢治
- 並列タイトル等
- Development of a Novel PECVD Precursor, TG-41, for Gas Barrier Film
- タイトル（掲載誌）
- 東ソー研究・技術報告 = Tosoh research & technology review / 東ソー株式会社東ソー研究・技術報告編集委員会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 60(97):2016
- 掲載巻
- 60
- 掲載号
- 97
- 掲載ページ
- 3-6