Fabrication of a Cr Nanoporous Thin Film via Sputter Deposition and Investigation of Its Applicability as a Water-oil Separation Electrode in a MEMS Moisture Sensor(特集 センサ・マイクロマシン英文特集号)

• 資料種別: 記事
• タイトル: Fabrication of a Cr Nanoporous Thin Film via Sputter Deposition and Investigation of Its Applicability as a Water-oil Separation Electrode in a MEMS Moisture Sensor
• 著者・編者: Yusuke Yoshii; Yuuki Fukagawa; Mizue Mizoshiri; Junpei Sakurai; Seiichi Hata
• シリーズタイトル: 特集 センサ・マイクロマシン英文特集号
• 著者標目: Yusuke Yoshii; Yuuki Fukagawa; Mizue Mizoshiri; Junpei Sakurai; Seiichi Hata
• タイトル（掲載誌）: 電気学会論文誌. E, センサ・マイクロマシン部門誌 = IEEJ transactions on sensors and micromachines
• 巻号年月日等（掲載誌）: 137(1):2017.1
• 掲載巻: 137
• 掲載号: 1
• 掲載ページ: 15-22
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-01
• ISSN（掲載誌）: 1341-8939
• ISSN-L（掲載誌）: 1341-8939
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: eng
• 件名標目: Moisture sensor; moisture-in-oil sensor; nanoporous thin film metal; chemical dealloying; combinatorial technique
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-B380
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 027839500; http://id.ndl.go.jp/bib/027839500
• 整理区分コード: 632