先端技術を支える分析・解析・計測技術(No.4)プローブ顕微鏡"AFM5500M"による微小領域の三次元形状計測

先端技術を支える分析・解析・計測技術(No.4)プローブ顕微鏡"AFM5500M"による微小領域の三次元形状計測

国立国会図書館請求記号: Z14-121
国立国会図書館書誌ID: 027979481

資料種別: 記事

著者: 脇山茂

出版者: 東京 : 日刊工業新聞社

出版年: 2017-03

資料形態: 紙

掲載誌名: 工業材料 = Engineering materials 65(3)=820:2017.3

掲載ページ: p.76-82

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紙

資料種別: 記事
タイトル: 先端技術を支える分析・解析・計測技術(No.4)プローブ顕微鏡"AFM5500M"による微小領域の三次元形状計測
著者・編者: 脇山茂
著者標目: 脇山茂
タイトル（掲載誌）: 工業材料 = Engineering materials
巻号年月日等（掲載誌）: 65(3)=820:2017.3
掲載巻: 65
掲載号: 3
掲載通号: 820
掲載ページ: 76-82
掲載年月日（W3CDTF）: 2017-03
ISSN（掲載誌）: 0452-2834
ISSN-L（掲載誌）: 0452-2834
出版事項（掲載誌）: 東京 : 日刊工業新聞社
出版地（国名コード）: JP
本文の言語コード: jpn
NDLC: ZM16
対象利用者: 一般
所蔵機関: 国立国会図書館
請求記号: Z14-121
連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引
https://ndlsearch.ndl.go.jp
書誌ID（NDLBibID）: 027979481
http://id.ndl.go.jp/bib/027979481
整理区分コード: 632

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