溶液法を用いた酸化亜鉛系薄膜トランジスタの作製および熱ナノインプリント法による酸化物薄膜のダイレクトパターニング

• 資料種別: 記事
• タイトル: 溶液法を用いた酸化亜鉛系薄膜トランジスタの作製および熱ナノインプリント法による酸化物薄膜のダイレクトパターニング
• 著者・編者: 木村 史哉; アブドゥラ ハナキ; 孫 屹; 佐々木 祥太; 永山 幸希; 小山 政俊; 前元 利彦; 佐々 誠彦
• シリーズタイトル: シリコン材料・デバイス
• 著者標目: 木村 史哉; アブドゥラ ハナキ; 孫 屹; 佐々木 祥太; 永山 幸希; 小山 政俊; 前元 利彦; 佐々 誠彦
• 並列タイトル等: Fabrication of Zinc Oxide-based Thin Films Transistors by a Solution Process and a Direct Patterning of Oxide Thin Films by a Thermal Nanoimprint Method
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 116(472):2017.2.24
• 掲載巻: 116
• 掲載号: 472
• 掲載ページ: 13-16
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-02-24
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 溶液法; 酸化亜鉛; 薄膜トランジスタ; ナノインプリント法; Solution Method; Zinc Oxide; Thin Film Transistors; Nanoimprint Method
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: SDM2016-149
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028039972; http://id.ndl.go.jp/bib/028039972
• 整理区分コード: 632