燃焼炎3段階合成法による合成ダイヤモンド皮膜の表面粗さに及ぼす影響因子について
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 髙橋 護瀬川 悟志神谷 修
- 並列タイトル等
- Influence Factors of Surface Roughness of Synthesized Diamond Films by Three-step Synthesis Method Using Flame Combustion
- タイトル（掲載誌）
- スマートプロセス学会誌 = Journal of smart processing
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 6(2):2017.3
- 掲載巻
- 6
- 掲載号
- 2
- 掲載ページ
- 87-94