大電力パルススパッタリングを用いた金属膜の構造制御 (特集 薄膜成長の最前線)
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 中野 武雄
- シリーズタイトル
- 著者標目
- 並列タイトル等
- Modification of Microstructure of Metal Films using High Power Pulsed Magnetron Sputtering
- タイトル（掲載誌）
- 表面科学 = Journal of the Surface Science Society of Japan / 日本表面科学会 編
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 38(5):2017.5
- 掲載巻
- 38
- 掲載号
- 5