新型プラズマプロセス用RF-ICP酸素負イオンプラズマのプローブ測定

• 資料種別: 記事
• タイトル: 新型プラズマプロセス用RF-ICP酸素負イオンプラズマのプローブ測定
• 著者・編者: 児玉 宜優; 比村 治彦; 森本 貴大; 平野 達弥; 岡田 成文; 政宗 貞男
• シリーズタイトル: プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
• 著者標目: 児玉 宜優; 比村 治彦; 森本 貴大; 平野 達弥; 岡田 成文; 政宗 貞男
• 並列タイトル等: Probe measurement of RF-ICP negative oxygen ion plasma for an innovative plasma
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2017(39-47):2017.5.15
• 掲載巻: 2017
• 掲載号: 39-47
• 掲載ページ: 23-27
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-05-15
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: プラズマプロセス; 負イオン源; 酸素負イオン; 誘導結合プラズマ; 補償型プローブ; 空間的依存性; plasma process; negative ion source; negative oxygen ion; inductive coupled plasma; compensation probe; spatial dependence
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: PPT-17-43
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-C90
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028305656; http://id.ndl.go.jp/bib/028305656
• 整理区分コード: 632