大気圧プラズマ窒化系における真空パージの有効性の検証

• 資料種別: 記事
• タイトル: 大気圧プラズマ窒化系における真空パージの有効性の検証
• 著者・編者: 千葉 清芽; 市來 龍大; 山野内 健太; 中谷 達行; 上野 崇寿; 赤峰 修一; 金澤 誠司
• シリーズタイトル: プラズマ パルスパワー 放電合同研究会 プラズマ・放電・パルスパワー一般
• 著者標目: 千葉 清芽; 市來 龍大; 山野内 健太; 中谷 達行; 上野 崇寿; 赤峰 修一; 金澤 誠司
• 並列タイトル等: Demonstration of availability of vacuum purge in nitriding system of atmospheric-pressure plasma
• タイトル（掲載誌）: 電気学会研究会資料. PPT / パルスパワー研究会 [編]
• 巻号年月日等（掲載誌）: 2017(18-22・24-27・29-33・35-38):2017.5.14
• 掲載巻: 2017
• 掲載号: 18-22・24-27・29-33・35-38
• 掲載ページ: 21-24
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-05-14
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電気学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: 大気圧プラズマ; 真空パージ; 窒化; atmospheric-pressure plasma; vacuum purge; nitriding
• NDLC: ZN31
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: PPT-17-22
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z74-C90
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028307397; http://id.ndl.go.jp/bib/028307397
• 整理区分コード: 632