低温硬化可能な新規高伸度ポジ型感光性ポリイミドの開発
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CiNii Research
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書誌情報
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- 資料種別
- 記事
- 著者・編者
- 橋本 啓華増田 有希荒木 斉荘司 優小山 祐太郎磯部 王郎西村 拓真奥田 良治
- 並列タイトル等
- Novel Low-temperature Curable Positive-Tone Photosensitive Polyimide Materials with High Elongation
- タイトル（掲載誌）
- マイクロエレクトロニクスシンポジウム論文集
- 巻号年月日等（掲載誌）
- 27:2017.8.29・30
- 掲載巻
- 27
- 掲載ページ
- 131-134
- 掲載年月日（W3CDTF）
- 2017-08