SiC溶液法における坩堝からの炭素の溶解現象と結晶品質の関係 : 炭素溶解速度と炭素溶解度 (電子部品・材料)

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SiC溶液法における坩堝からの炭素の溶解現象と結晶品質の関係 : 炭素溶解速度と炭素溶解度

(電子部品・材料)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
028638785
資料種別
記事
著者
高橋 大ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2017-10
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117(268):2017.10.27・28
掲載ページ
p.5-9
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
高橋 大
玄 光龍
土本 直道
鈴木 皓己
沓掛 穂高
太子 敏則
シリーズタイトル
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
117(268):2017.10.27・28
掲載巻
117
掲載号
268
掲載ページ
5-9