雑誌金属
めっき法を用いた膜作...

めっき法を用いた膜作製と微細加工 (特集 共用施設によるナノ・マイクロ加工技術とイノベーション)

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めっき法を用いた膜作製と微細加工

(特集 共用施設によるナノ・マイクロ加工技術とイノベーション)

国立国会図書館請求記号
Z17-289
国立国会図書館書誌ID
028676772
資料種別
記事
著者
齋藤 美紀子
出版者
東京 : アグネ技術センター
出版年
2017-12
資料形態
掲載誌名
金属 87(12)=1175:2017.12
掲載ページ
p.1022-1026
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
齋藤 美紀子
著者標目
タイトル(掲載誌)
金属
巻号年月日等(掲載誌)
87(12)=1175:2017.12
掲載巻
87
掲載号
12
掲載通号
1175