酸化物半導体ガスセンサのための材料作製技術 : 最近の研究動向(小特集 人と地球に嬉しい真空技術)

• 資料種別: 記事
• タイトル: 酸化物半導体ガスセンサのための材料作製技術 : 最近の研究動向
• 著者・編者: 北村 雅季
• シリーズタイトル: 小特集 人と地球に嬉しい真空技術
• 著者標目: 北村 雅季
• 並列タイトル等: Material Production Technology for Oxide Semiconductor Gas Sensors : Recent Research Progress
• タイトル（掲載誌）: Journal of the Vacuum Society of Japan = 真空
• 巻号年月日等（掲載誌）: 60(11):2017.11
• 掲載巻: 60
• 掲載号: 11
• 掲載ページ: 415-420
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017-11
• ISSN（掲載誌）: 1882-2398
• ISSN-L（掲載誌）: 1882-2398
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 日本真空協会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• NDLC: ZN15
• 対象利用者: 一般
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-474
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028698827; http://id.ndl.go.jp/bib/028698827
• 整理区分コード: 632