-c面GaN基板上のGaNのMOVPE成長における酸素低減の研究 (電子デバイス)

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-c面GaN基板上のGaNのMOVPE成長における酸素低減の研究

(電子デバイス)

国立国会図書館請求記号
Z16-940
国立国会図書館書誌ID
028699423
資料種別
記事
著者
河野 司ほか
出版者
東京 : 電子情報通信学会
出版年
2017
資料形態
掲載誌名
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報 117(331):2017.11.30・12.1
掲載ページ
p.19-22
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書誌情報

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資料種別
記事
著者・編者
河野 司
久志本 真希
永松 謙太郎
新田 州吾
本田 善央
天野 浩
シリーズタイトル
並列タイトル等
Study on oxygen reduction in MOVPE growth of GaN on -c-plane GaN substrate
タイトル(掲載誌)
電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
巻号年月日等(掲載誌)
117(331):2017.11.30・12.1
掲載巻
117
掲載号
331