Face to Face法アニールによるAlN極性反転構造の作製と疑似位相整合SHGへの応用

• 資料種別: 記事
• タイトル: Face to Face法アニールによるAlN極性反転構造の作製と疑似位相整合SHGへの応用
• 著者・編者: 林 侑介; 三宅 秀人; 平松 和政; 秋山 亨; 伊藤 智徳; 片山 竜二
• シリーズタイトル: 電子デバイス
• 著者標目: 林 侑介; 三宅 秀人; 平松 和政; 秋山 亨; 伊藤 智徳; 片山 竜二
• 並列タイトル等: Fabrication of Polarity-inverted AlN by Face-to-Face Annealing and Application for QPM-SHG
• タイトル（掲載誌）: 電子情報通信学会技術研究報告 = IEICE technical report : 信学技報
• 巻号年月日等（掲載誌）: 117(331):2017.11.30・12.1
• 掲載巻: 117
• 掲載号: 331
• 掲載ページ: 87-90
• 掲載年月日（W3CDTF）: 2017
• ISSN（掲載誌）: 0913-5685
• ISSN-L（掲載誌）: 0913-5685
• 出版事項（掲載誌）: 東京 : 電子情報通信学会
• 出版地（国名コード）: JP
• 本文の言語コード: jpn
• 件名標目: AlN; Face to Faceアニール; 極性反転; SHG; ウェハ接合; Face to face annealing; polarity inversion; wafer bonding
• NDLC: ZN33
• 対象利用者: 一般
• レポート番号（雑誌記事）: ED2017-67
• 所蔵機関: 国立国会図書館
• 請求記号: Z16-940
• 連携機関・データベース: 国立国会図書館 : 国立国会図書館雑誌記事索引; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• 書誌ID（NDLBibID）: 028699851; http://id.ndl.go.jp/bib/028699851
• 整理区分コード: 632