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雑誌映像情報メディア学会技術報告
巻号42(7)-42(14):2018.3-2018.5
記事依頼講演 TFT作製...

依頼講演 TFT作製プロセスによりa-IGZO-TFTに導入される水素関連欠陥の光誘起電流過渡分光法による評価 (情報ディスプレイ ; ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)

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依頼講演 TFT作製プロセスによりa-IGZO-TFTに導入される水素関連欠陥の光誘起電流過渡分光法による評価

(情報ディスプレイ ; ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム)

国立国会図書館請求記号
Z16-1010
国立国会図書館書誌ID
028928988
資料種別
記事
著者
林 和志ほか
出版者
東京 : 映像情報メディア学会
出版年
2018-03
資料形態
紙
掲載誌名
映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report 42(8):2018.3
掲載ページ
p.21-26
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紙

資料種別
記事
タイトル
依頼講演 TFT作製プロセスによりa-IGZO-TFTに導入される水素関連欠陥の光誘起電流過渡分光法による評価
著者・編者
林 和志
越智 元隆
日野 綾
後藤 裕史
釘宮 敏洋
シリーズタイトル
情報ディスプレイ ; ディスプレイ材料・製造技術シンポジウム
著者標目
林 和志
越智 元隆
日野 綾
後藤 裕史
釘宮 敏洋
並列タイトル等
Photo-Induced Transient Spectroscopy Study on Hydrogen-Related Trap States in a-IGZO-TFTs induced during TFT Fabrication Process
タイトル（掲載誌）
映像情報メディア学会技術報告 = ITE technical report
巻号年月日等（掲載誌）
42(8):2018.3
掲載巻
42
掲載号
8